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直线超声电机在精密定位平台上有应用介绍

日期:2019-11-14 01:06
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摘要:
     精密定位平台也叫电动滑台、精密定位滑台。主要应用于工装夹取、移载、定位,自动化工作站,半导体设备、TFT-LCD液晶面板设备,太阳能设备,LED线上设备,机械内部XYZ轴工作平台、点胶、锁螺丝、视觉检测、量测设备等,高速高精度场所。
    随着半导体光刻技术、微型机械、精密测量、超精密加工、微装配和纳米技术的迅速发展,对精密定位系统的行程、速度和精度等提出了越来越高的要求, 其控制精度在微米级,甚至纳米级的范围内。
    精密运动系统是集精密位置检测技术、驱动技术、直线导向技术、控制技术为一体的有机综合体。其中,驱动控制技术直接决定了平台的速度、精度、行程和整个系统的效率。
    在传统的定位技术中,常选用“伺服电机+滚珠丝杠”的方式,由于具有运动转换环节,不可避免地存在间隙误差,虽然经过预紧后可实现良好的传动精度,但使其达到纳米级精度代价不菲。
    直线超声电机作为超声电机中的一类,利用压电元件的逆压电效应和弹性体的超声振动,通过定子和动子之间的摩擦作用,把弹性体的微幅振动转换成动子宏观的直线运动。
    直线超声电机不仅能够直接产生直线运动和牵引力,而且具有结构简单、响应快、断电自锁、不受电磁干扰等特点,同时具有较大的行程以及纳米级的位移分辨率。
    利用直线超声电机驱动的平台,具有传动链短、行程大、定位精度高、响应速度快等优点,使其逐渐成为精密驱动领域的理想驱动器。


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