产品资料
简单介绍：
技术参数：
电动位移台系统包括：线性位移台，XY位移台，升降位移台，旋转位移台，角位台，滤光轮，控制系统(步进电机/直流伺服)
类型： 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差
XY位移台:5.5 10N 0.2mm/s <20um 30="" <30um="" 100mm="" <2um="" 精密xy="" 行程(mm)="" 负载="" 加速度="" 重复定位精度="" 定位误差="" 垂直偏差="" 横向偏差="" 位移台：="" 150n="" 40mm="" s="" <5um="" <4um="" 紧凑精密="" xy位移台：50-130="" 40n="" 10mm="" <15um="" 紧凑高精="" 密xy位移="" <="" div="">
