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  • 产品名称: 紫外激光光束分析仪

  • 产品型号:
  • 产品厂商:Metrolux
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简单介绍:
紫外激光光束分析仪(UV - Laser Beam Profiler)
详情介绍:
技术参数:

可用于准分子激光器和 Nd:YAG  激光器的高次谐波

相机系统:
• 高动态范围

• 高分辨率紫外转换器
• Homogeneity up to > 98 % over active area
• 延迟时间短

• 损伤阈值高达15 J/cm²
• 单脉冲探测频率达1 KHz(由转换器的延迟时间决定)

 

Laser Wavelength beam size                
F2 157 nm                  
ArF 153 nm                  
NdYag 5th 213 nm < 1mm < 5x4 < 9x6 < 13x9 < 18x13 < 27x20 <35x27 <43x32 < 50x38*
KrF

248 nm

Laser spot                
NdYag 4th 266 nm                  
XeCI

308 nm

ML5222 10x direct ML5201 ML5202 ML5203 ML5204 ML5205 ML5206 ML5207
XeF 351 nm ML5223 20x                
NdYag 3rd 355 nm ML5224 40x                

* (larger sizes available on request, up to 200 mm


Software ML1201 beamlux II advanced  
Camera ML3720 1/2” CCD      782 x 582  
  ML3743 2/3” CCD      1392 x 1040  

主要特点:

Features
• 可测量所有的准分子激光器
• 在线质量控制
• real time evaluation of the laser with 1/10th of a second
• Synchronizes up to three cameras simultaneously for measurement of raw beam and processing plane
• TCP/IP remote control to control your laser system from your desk

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